掩模分形相关硕士博士期刊学术论文 - 信丰网

掩模分形相关论文

掩模分形提高光刻边缘锐度的研究

针对电寻址空间光调制器制作灰度掩模过程中,精缩透镜的低通滤波特性导致灰度掩模边缘锐度下降的问题,提出了掩模分形技术。对一幅......

期刊

应用光学灰度掩模掩模分形边缘锐度光刻

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