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掩膜误差因子相关论文

基于多光刻胶有效扩散长度的光学临近效应修正模型校准方法(英文)

提出了基于多光刻胶有效扩散长度的光学临近效应修正模型校准方法,其考虑了一维和二维图形之间光刻胶有效扩散长度的不同.该方法的......

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光学临近效应修正可制造性设计扩散光学影像模型边缘位置误差化学放大光刻胶掩膜误差因子

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