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掺杂纳米金属粉末相关论文

微波等离子体技术在ICF制靶中的应用

为了提高ICF精密制靶的质量,提出用微波等离子体(MP)技术,包括等离子体薄膜制备、等离子体反应性离子束刻蚀、聚焦离子束刻蚀、掺......

期刊

微波等离子体薄膜制备离子束刻蚀掺杂纳米金属粉末表面包覆改性 Microwave plasma(MP) Film preparation Ion beam

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