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掺氮氟化非晶碳膜相关论文

掺氮氟非晶碳膜场发射电流重复性及F-N曲线研究

采用射频等离子体化学增强型气相沉积（rF-PECVD）法沉积了掺氮氟化非晶碳膜.研究了不同射频功率下薄膜样品表面形貌及I-U特性,比较了......

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掺氮氟化非晶碳膜表面结构 F-N曲线重复性 nitrogen doped fluorinated carbon film surface structure

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