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掺Ti类金刚石薄膜相关论文

掺Ti量对类金刚石薄膜机械性能的影响

采用非平衡磁控溅射技术，通过改变Ti靶溅射电流，在不锈钢衬底表面沉积了不同掺Ti量的类金刚石薄Ni（TiDLC），研究了掺Ti量对薄膜的显微硬......

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非平衡磁控溅射掺Ti类金刚石薄膜结合强度摩擦磨损性能 unbalanced magnetron sputtering Ti-DLC cohesion tr

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