摆动驱动相关论文
平面研磨抛光作为获取光学玻璃、蓝宝石衬底以及硅晶片等高质量表面的重要途径,在航空航天、光学、微电子等领域范畴有着普遍的应......
超精密加工技术中，减小表面损伤和提高加工效率是一对矛盾。为了能有效地避免硬质大颗粒造成的表面损伤，提高整体的加工效率，在原有的......
