摆臂式轮廓仪相关论文
摆臂式轮廓仪测量大尺寸光学元件面形时会采集大量的数据，并且为了减少测量的时间及提高测量过程中的平稳性，需保持仪器的机械部分的......
介绍了一种新颖的非球面轮廓仪的测量原理和测量试验，它通过测量非球面与某一参考球面之间的偏离量来唯一确定非球面的面形误差，通过......
在开发的摆臂式测量试验系统的基础上，对影响系统测量不确定度的各种误差因素进行了分析，建立了测量系统与被测工件之间的相对位姿误......
大尺寸光学元件表面面形的精密检测是许多领域光学系统发展的重要部分,随着科学技术的进步,许多领域如同步辐射光源、极紫外光刻、......
伴随着科学技术的快速发展,光学非球面由于其优异的光学性能,在大型光学系统、空间目标探测与识别和红外导引等技术领域有着较为广......
随着大型光学系统在天文观测、空间目标识别等领域的应用越来越广泛，大型光学镜面的加工和检测面临着很大的挑战。传统的面形检测工......
