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a-C:H膜的高真空磨损失效机制研究——应力的影响
采用中频非平衡磁控溅射法沉积了含氢无定形碳(a-C:H)薄膜,利用球-盘摩擦试验机考察了不同载荷下薄膜在高真空中(5.0×10-3Pa)的摩......
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