本文研究了和ＳＶＧ－１８ＤＷＣ双面擦片机刷洗经ＲＣＡ工艺清洗后的硅单晶抛光片表面。结果表明：经ＳＶＧ－１８ＤＷＣ双面擦片机刷洗后，抛光片的表面颗粒有明显的减少，经ＷＩＳＣＲ－８０测试Φ......

沈阳芯源微电子设备有限公司研制的8～12英寸先进封装技术专用匀胶设备获得“2007年中国半导体创新产品和技术”奖，其中12英寸（×3......