改良西门子工艺相关论文
用量子化学密度泛函理论（DFT）方法计算了氢硅氯反应体系中多种物质的热力学参数，并将计算结果与尽可能查得的手册数据进行比对，以此验......
随着能源危机的不断加剧,太阳能作为可再生能源已成为关注的焦点。从国内外多晶硅的生产状况,综述了化学法多晶硅的生产工艺,重点......
本文结合我国多晶硅行业的实际情况,针对改良西门子工艺的特点,对多晶硅生产过程中涉及的危险有害物质和危险有害因素进行了系统全......
