数字硅陀螺相关论文
微机械陀螺是一种有效的角运动检测装置,有着非常广泛的应用范围。微机械陀螺传感器主要包括传感器结构与传感器接口电路两部分。在......
本课题在分析数字硅陀螺的工作原理以及相频特性的基础上,设计出基于输入驱动信号与传感器结构中质量块受迫运动相应信号的相位关系......
学位
随着半导体技术与集成电路工艺的发展,数字硅陀螺在众多领域扮演着越来越重要的角色。数字硅陀螺是机械陀螺利用MEMS微型化后得到......