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新型抛光液相关论文
蓝宝石的化学机械抛光液研究
蓝宝石优异的机械性能、稳定的化学性质以及在透光方面的独特的优势,使其被广泛应用于LED产业、军工国防等领域。随着LED产业的不......
学位
蓝宝石
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铜的化学机械抛光液研究
随着集成电路的迅速发展,芯片的布线层数越来越多,对布线层金属的电学特性和平坦化性能提出了更高的要求。铜具有低电阻率和高抗电......
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铜
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