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施主受主补偿相关论文
B离子注入n(Si)-GaAs层的特性研究
B~+注入n(Si)-GaAs层,可以在带间引入与损伤相关的深能级,补偿自由电子,使n型导电层变为高阻层。若注B后退火,在一定的退火条件下,......
期刊
离子注入
Si
施主受主补偿
载流子浓度
光发光
退火条件
导电层
高阻
退火温度
深能级
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