无定形碳干法蚀刻相关硕士博士期刊学术论文 - 信丰网

无定形碳干法蚀刻相关论文

MEMS/Sensor工艺中无定形碳应用及干法蚀刻研究

提出一套新的无定型碳牺牲层蚀刻工艺,新工艺应用于MEMS和Sensor牺牲材料工艺中,能够很好地解决无定形碳蚀刻工艺中有机副产物问题......

期刊

无定形碳干法蚀刻 MEMS SENSOR 有机副产物去除 amorphous carbon dry etch MEMS senor polymer remove

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