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无定形碳干法蚀刻相关论文
MEMS/Sensor工艺中无定形碳应用及干法蚀刻研究
提出一套新的无定型碳牺牲层蚀刻工艺,新工艺应用于MEMS和Sensor牺牲材料工艺中,能够很好地解决无定形碳蚀刻工艺中有机副产物问题......
期刊
无定形碳干法蚀刻
MEMS
SENSOR
有机副产物去除
amorphous carbon dry etch MEMS senor polymer remove
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