无蜡抛光垫相关论文
随着电子及光电材料技术的飞速发展,对各种材料的抛光提出了更为严格的要求.大直径的不断变化,又对无蜡抛光垫的平整度、粘接牢度......
为了适应大规模集成电路对半导体材料加工工艺水平提高的要求及引进生产线国产配套化的迫切需要,开展了国产无蜡抛光垫的研制工作。......