时域动态响应特性相关硕士博士期刊学术论文 - 信丰网

时域动态响应特性相关论文

微板多物理场耦合非线性动力学研究

静电驱动是微机电产品中广泛使用的驱动方式,微板是MEMS产品设计中一种典型的结构元件。静电驱动MEMS器件在工作中存在静电场力与......

学位

微板 MEMS 非线性动力学多物理场耦合摄动法压膜阻尼 KBM法频率特性时域动态响应特性幅频响应

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