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晶体结构软化相关论文

ErAlN/蓝宝石基SAW谐振器制备与性能研究

采用Er镶嵌靶,以射频(RF)反应磁控溅射法,在蓝宝石衬底上制备出了c轴取向的Er 0.11 Al 0.89 N z压电薄膜。运用正交设计实验优化后......

期刊

镶嵌靶 ErAlN压电薄膜声表面波(SAW)谐振器有效机电耦合系数晶体结构软化

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