晶圆传热相关硕士博士期刊学术论文 - 信丰网

晶圆传热相关论文

中心组合设计法在静电吸盘绝缘层结构优化中的应用

为研究等离子体刻蚀中静电吸盘绝缘层结构对晶圆温度分布均匀性影响，建立了晶圆与静电吸盘三维传热模型，采用中心组合设计方法分析了......

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静电吸盘晶圆传热中心组合设计自适应进化优化结构优化 Electrostatic Chuck Heat Transfer Central Compos

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