晶圆制备相关硕士博士期刊学术论文 - 信丰网

晶圆制备相关论文

基于层转移技术的特种SOI晶圆制备及抗辐射性能研究

绝缘体上硅(Silicon-On-Insulator，SOI)技术由于全介质隔离、寄生电容小等特点，在高速度、低功耗、高集成度等性能方面具有显著的优......

学位

绝缘体上硅晶圆制备抗辐射性能层转移

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