晶圆清洗机相关论文
晶圆清洗作业对无尘工作环境和清洗设备都有很高的要求。目前晶圆清洗机采用直流伺服电动机作为驱动电机,但碳刷的磨损给无尘工作......
低速度下的脉动转矩问题限制了永磁无刷直流电动机（简称无刷电机）在某些场合下的应用。本文研究晶圆清洗机驱动用无刷电机的脉动转矩......
晶圆的清洗是半导体生产过程的重要工艺环节,晶圆对微污染物的存在非常敏感,晶圆的清洗质量直接关系到芯片的成品率,是关乎生产成......
