晶圆硅废料相关论文
以磨切单晶硅废料Si粉和SiC为原料,Y2O3-Al2O3-Fe2O3为复合烧结助剂,反应烧结法制备Si3N4/SiC复相陶瓷材料.运用L9 (34)正交设计,......
期刊