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晶圆翘曲相关论文
圆片级封装中铜互连的应力及翘曲机理研究
铜由于其优异的电学性能,已在IC及其封装中逐步取代铝及其它金属,广泛应用于BEOL(晶圆制造后段工艺)中芯片上互连金属层MLI(Multilay......
学位
集成电路
圆片级封装
铜互连
再布线结构
晶圆翘曲
应力分布
WLCSP封装晶圆翘曲成因与控制方法研究
晶圆级芯片尺寸封装(Wafer Level Chip Scale Package,WLCSP)以其较少的制造环节和较高的生产效率在先进电子封装领域中得到越来越......
学位
WLCSP封装
晶圆翘曲
数值模拟
工艺
翘曲形态
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