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晶片减薄相关论文
晶片减薄设备技术研究
本研究课题为中国电子科技集团公司第四十五研究所型普科研项目。晶片减薄设备是对晶片背面材料(主要是半导体硅材料)进行磨削加工......
学位
晶片减薄
塑性加工
磨削参数
半导体硅材料
磨削加工
机械工程
晶片减薄技术原理概况
从对晶片减薄的质量要求角度出发,论述了垂直缓进给(Creep-Feed)晶片减薄原理与垂直切深进给(In-Feed)晶片减薄原理.提出原理设计......
期刊
晶片减薄
减薄技术
减薄工艺
减薄原理
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