有害气体净化相关硕士博士期刊学术论文 - 信丰网

有害气体净化相关论文

等离子体技术净化CF4及其生成物机理的探讨

讨论了利用等离子体技术净化CF4及其生成物的方法，分析了净化机理。由四极质谱仪的分析结果发现，CF4等生成物的谱峰强度随射频(RF)功......

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等离子体刻蚀有害气体净化环境保护四氟化碳环境污染 plasma technique purification of harmful gasesenvir

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