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α-C:H膜表面形貌及光学性能的测试分析
以H2和反式-2-丁烯(T2B)为工作气体,利用低压等离子体增强化学气相沉积法制备了α-C:H薄膜。采用原子力显微镜、扫描电镜测试了α-C:H薄......
期刊
α-C:H薄膜
表面粗糙度
折射率
透过率
杂化键
α-C:H films Surface roughness Refractive index Transmi
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