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重掺<100>硅单晶抛光片条纹状起伏缺陷研究
重掺<100>硅单晶片抛光后经微分干涉显微镜观测,抛光片边缘区域存在条纹状起伏缺陷。通过分析条纹状起伏缺陷与重掺硅单晶中杂质的......
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条纹起伏缺陷
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