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栅氧化层电导相关论文

多晶硅／氧化硅界面的二次离子质谱分析

利用二次离子质谱仪对多晶硅/氧化硅界面进行分析,发现多晶硅/氧化硅界面不是突变的,而存在着一个过渡区;根据多晶硅薄膜的成核理......

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多晶硅氧化硅界面二次离子质谱分析过渡区栅氧化层电导硅栅 poly-Si/SiO2 interface secondary ion mass spec

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