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应用于MOS场效应管的栅电介质材料氮铝酸锆薄膜
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高介电系数栅电介质材料锆铝酸盐薄膜的研究
随着硅基微电子技术的飞速发展,半导体器件的特征尺寸根据摩尔定理不断减小。当MOS场效应管的特征尺寸达到100nm时,作为传统栅电介质......
学位
栅电介质材料
锆铝酸盐
薄膜
介电常数
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