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低电压驱动F-P腔可调谐滤波器的仿真和设计
利用COMOSL多物理场有限元软件, 对无孔、圆形孔、正方形孔、菱形孔四种新型折叠梁形桥面结构Fabry-Perot(F-P)腔可调谐滤波器进行......
期刊
F-P腔
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静电驱动
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仿真
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