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基于槽技术的SOI LDMOS器件新结构研究
作为SOI(Silicon On Insulator)功率集成电路的核心器件,SOI LDMOS(Lateral Double-diffused MOSFET)器件因具有低功耗、易于集成......
学位
绝缘体上硅
槽栅
槽漏
槽源
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具有纵向漏极场板的低导通电阻绝缘体上硅横向双扩散金属氧化物半导体器件新结构
为降低绝缘体上硅(SOI)横向双扩散金属氧化物半导体(LDMOS)器件的导通电阻,同时提高器件击穿电压,提出了一种具有纵向漏极场板的低......
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