横向刻蚀效应相关硕士博士期刊学术论文

深反应离子刻蚀（DRIE）工艺在目前的硅微机械高深宽比结构加工中应用十分广泛。在SOI硅片DRIE刻蚀过程中,存在着一些被认为对刻蚀速率......