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现在,国内外越来越重视对无陀螺捷联惯导系统的研究,然而在解算惯性组合基本分量时把加速度计理想化了,忽视了加速度计横向输出对解算......
研究了一种新型微机电系统(MEMS)加速度计,利用双面四端固支的三维对称结构从根本上消除了横向干扰。基于工程力学原理建立了双面......
建立了微机电系统(MEMS)结构的力学模型,分析了横向输出产生的根本原因;基于压阻效应,充分利用对称结构和电桥的抵消作用抑制横向......