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微机械电容式陀螺模态匹配静电控制技术研究
微机械陀螺随着MEMS技术的飞速发展而发展,具有高可靠性、高集成度、低成本等优点应用于通信、微流体、航空航天等领域。受工艺偏......
学位
微机械电容式陀螺
模态匹配
正交误差力
控制算法
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