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正测法相关论文
Ti和TiN薄膜的制备以及残余应力的测试方法研究
基底曲率半径法是一种测量薄膜残余应力的常用方法,其中的光杠杆法应用最为广泛。文章在SUS304基底上使用电弧离子镀法制备了不同......
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