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步进蠕动相关论文
低频脉冲激励步进蠕动式精密压电驱动器的研究
随着近些年精密加工、微纳制造等领域快速发展,精密驱动和定位技术已经成为加工和制造领域中最为基础和亟待解决的关键技术。而压......
学位
压电驱动器
步进蠕动
驱动电源
低频脉冲
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