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比例积分差动控制相关论文
光电反馈式静电悬浮的光电控制系统
本文给出了基于直流高压静电场的光电反馈式静电悬浮系统的实现方案,介绍其工作原理,主要讨论该悬浮操作的技术核心-光电控制系统,......
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静电悬浮
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光电控制系统
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