气固耦舍相关硕士博士期刊学术论文 - 信丰网

气固耦舍相关论文

精密气浮直线电机结构动力学建模与分析

高分辨率步进扫描投影光刻机中掩模台长行程直线电机采用气浮轴承支撑实现亚微米级定位的高速高精运动。考虑精密气浮直线电机结构......

期刊

精密直线电机气固耦舍动力学模型仿真模态试验 precision linear motor gas-solid coupling dynamic mode

看过本文同时还关注