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气旋与微振动相关论文
气浮轴承支承特性和微振动特性研究
气浮轴承因其高精度、低摩擦、有效隔离振动和清洁无污染等优势而成为超精密制造设备中的重要支承元件,广泛应用于光刻机、三坐标......
学位
气浮轴承
承载特性
节流结构
湍流运动
气旋与微振动
温度热耦合效应对空气静压轴承的影响分析
空气静压轴承因其特有的低摩擦,高精密和洁净无污染等优点被广泛应用在半导体制造、超精密测试设备和高精密加工机床等设备领域中......
学位
温度热耦合
微尺度气膜
空气静压轴承
承载特性
气旋与微振动
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