气浮主轴相关论文
气浮主轴承载能力和刚度作为衡量气浮主轴性能的关键指标,受到节流方式的直接影响,而目前节流孔轴向布置方式对孔式节流静压气体轴......
介绍了大型菲涅尔平面镜模具的超精密加工方法、加工设备及加工工艺.突破了许多关键技术,研制出可加工直径达1900m m的菲涅尔平面......
超精密单点金刚石切削技术是实现大口径高精度KDP晶体加工的关键技术,而优异的主轴动、静态特性是实现机床加工精度的核心。超精密......
求解气体润滑问题的最大难点在于如何获得雷诺方程的精确解。为了提高气浮主轴轴向支承系统的设计精度,在建立小孔节流气体静压止......
介绍了空气质量对PCB数控钻孔机的重要性,运用气路图从原理上重点分析PCB数控钻孔机的气路设计的要点,并对其中的关键元器件气浮主......
为了实现细轴上微小平面的精密加工，研制了一套飞刀铣削装置，该装置的主轴采用空气静压轴承。回转精度为0．1μm。将其加装在精密数控......
应用三点法的测量系统,对气浮主轴的回转精度进行测量。该测量系统主要由纳米级圆度的标准球、多通道双灵敏度电容位移传感器组成......
卫星天线驱动机构由两个正交的旋转关节组成,为了在发射前测试其性能,提出了一种分级同步重力卸载方法,并根据该卸载方法搭建了气......
介绍了一种在气浮主轴与伺服电动机之间使用的拨叉式柔性连接机构,其采用弹性联轴器和软拨爪两级柔性环节。此结构只传递扭矩不传......
超薄晶圆磨削减薄的厚度变化量和碎片率受气浮主轴承载性能的影响。对晶圆旋转型磨削系统进行了运动学和动力学分析,建立了磨削减......
针对中继卫星天线驱动机构,提出了一种在地面进行分级同步重力卸载的气浮试验台,对卫星天线驱动机构的性能进行测试。介绍了分级同......
为提高空气静压主轴回转精度,基于空气静压主轴的回转运动特性,采用标准球单点双向法对主轴回转误差进行测量,分析了被测主轴的回......
在对高精度精密离心机性能进行评价时,离心机空气主轴的回转误差和倾角误差是两个关键的考核指标;为了能够同时对空气主轴的回转误......
