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AACVD方法制备FTO薄膜及其结构与光电性能研究
以单丁基三氯化锡为Sn源,氟化铵为F源,甲醇为溶剂,采用超声雾化-气溶胶辅助气相化学沉积方法制备了均匀的FTO(SnO2:F)透明导电薄膜。......
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气溶胶辅助
化学气相沉积
FTO薄膜
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