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镍有机前驱体在PECVD金刚石环境中凝聚行为的研究
金刚石具有多方面优异的性质,在众多领域具有十分重要的应用。作为生长金刚石的主要方法,等离子体增强化学气相沉积一直是金刚石制造......
学位
金刚石
镍有机前驱体
凝聚行为
复合组态
气相性状
生长环境
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