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气相沉积薄膜相关论文
磁控溅射含铜CrN薄膜的结构和抗菌性能
本研究采用反应磁控溅射技术制备了不同铜含量的CrNCu抗菌薄膜。台阶轮廓仪、扫描电镜、电子能谱和X射线衍射分析表明,随着铜靶电......
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