氢化物气向外延相关硕士博士期刊学术论文

利用氢化物气相外延法(HVPE)生长,以甲烷为掺杂源,成功制备获得四英寸自支撑半绝缘氮化镓(GaN)晶圆片.所使用掺杂气体为浓度为5％的......