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氢氦离子联合注入相关论文

氦氢离子联合注入硅基材料引起的表面剥离及机理研究

“智能剥离”技术最早是由Bruel提出来的,由于该技术能够制备高质量的SOI材料,所以高剂量的轻气体离子注入硅材料研究表面剥离及其......

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含表面氧化层或氮化层的单晶硅氢氦离子联合注入表面发泡局部剥离氢的板状缺陷微裂隙

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