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氧化炉管相关论文
用于IC氧化层和氧化炉管在线监控的表面光电压技术
表面光电压法(SPV)是一种高灵敏度的、非破坏性的在线监控技术.能精确测量硅片的少子扩散长度、少子寿命、重金属沾污浓度等参数.......
期刊
表面光电压
金属沾污
在线监控
SPV
集成电路
氧化层
氧化炉管
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