氧化钨(WO3-x)薄膜相关硕士博士期刊学术论文

利用离子束溅射结合后退火处理的方法制备了WO3-x(0≤x≤1)薄膜,系统研究了不同退火气氛、退火温度和退火时间等条件对WO3-x薄膜的......