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首先提出射频反应磁控溅射中薄膜沉积速率同O2流量和溅射功率关系的理论计算模型;其次根据这一理论计算模型,在O2/Ar气氛中,利用射......
应用射频反应磁控溅射法制备阳极催化氧化铁镍薄膜，由循环伏安、线性扫描伏安、极化曲线和电化学交流阻抗谱等研究发生在该电极上的......
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