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氧化铈浆料相关论文
氧化铈浆料中无机电解质的加入对ZF7玻璃抛光材料去除速率的显著促进作用
抛光粒子的微结构控制合成及抛光浆料的调配是化学机械抛光(CMP)领域的研究热点,其技术突破直接促进到超大规模集成电路和许多高精......
学位
氧化铈浆料
化学机械抛光
ZF7玻璃
无机电解质
材料去除速率
氧化铈浆料的流变性研究
光学玻璃的抛光是一个复杂的机械、化学、物理反应过程。其中,抛光粉的流变性对抛光的作用不可忽视。本文用NDJ-1型旋转粘度计测定......
期刊
氧化铈浆料
流变性
抛光
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