氧填隙缺陷相关硕士博士期刊学术论文 - 信丰网

氧填隙缺陷相关论文

自由基辅助磁控溅射制备ZnO：Al透明导电薄膜的研究

太阳能电池、平板显示和触摸屏等技术的出现与快速发展对透明导电氧化物薄膜材料提出了越来越多且越来越高的需求。ZnO：Al(简称AZO)......

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ZnO AZO 磁控溅射电阻率载流子浓度迁移率光学透过率氧负离子轰击注入效应反溅射效应空间分布氧填隙缺陷退火处理杂质散射

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