氧离子束相关硕士博士期刊学术论文 - 信丰网

氧离子束相关论文

氧离子后处理对氧化铟锡(ITO)薄膜电学和光学性能的影响

采用氧离子束对电子束蒸发制备且退火后的氧化铟锡(ITO)薄膜进行轰击后处理。经XPS检测发现氧元素在薄膜内含量增加,在深度方向上......

期刊

ITO薄膜电子束蒸发氧离子束方块电阻透过率

氧离子能量对离子束辅助沉积Al2O3薄膜的结构及光学性能的影响

　　利用氧离子束辅助脉冲反应磁控溅射技术在聚酰亚胺基底上沉积Al2O3薄膜。这项技术在溅射高纯铝靶材的同时利用低能氧离子进行......

期刊

三氧化二铝薄膜氧离子束磁控溅射技术结构表征光学特性

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